• 《中国制造2025》技术路线图:未来攻关EUV光刻机、18寸晶圆

    孟宪瑞 发布于2018-05-25 15:25 / 关键字: 中国制造2025, 18英寸, 晶圆, 450mm, EUV光刻机

    硅基半导体产业为什么能发展壮大?因为硅元素是地球上储备最多、成本最低的半导体材料之一,沙子中就含有大量的硅,就连英特尔制作过的宣传片都叫做“从沙到芯片”。不过另一方面,半导体行业又是全球制造业最高端的行业之一,也是中国正在努力攻破的产业。在《中国制造2025》技术路线图中,列出了多种需要攻克的半导体工艺,值得注意的是EUV光刻机以及18英寸晶圆产业。

    300mm晶圆与右侧的450mm晶圆

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  • 因蔡司镜头供货量跟不上需求,导致ASML积压了大量订单

    Origin 发布于2017-10-12 10:07 / 关键字: EUV光刻机, ASML, Intel

    我们都知道大至飞机小至手机,整个产品生产过程都需要零部件供应商的协作,只要其中一环出现问题,如果不能找到替代品,成品的推出就会延迟。众所周知ASML光刻机用的光学镜头是德国蔡司造的,但是现在有个坏消息,由于蔡司的镜头供货量不足,导致ASML的EUV光刻机生产进度缓慢,7月份ASML在报告中表示积压了多达21个订单,每个订单成本高达1.5亿美元,今年最多也就能交付8、9台EUV光刻机。

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