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    昨天中科院光电所研发成功的紫外超分辨光刻机在各大媒体上刷屏了,它打破了传统光学光刻分辨力受限于光源波长及镜头数值孔径的传统路线格局,使用365nm波长就能实现单次曝光最高线宽分辨力达到22nm。除了技术水平之外,中科院的这套光刻机价格非常低廉,项目副总设计师胡松表示其售价会在1000万到2000万元之间,这价格在光刻机中真的是白菜价了,ASML的193nm光刻机售价在7000万美元以上,EUV光刻机售价在1亿欧元以上,国内的光刻机价格仅为EUV光刻机价格2%,不过双方的技术体系也是不同的,国产光刻机现在还取代不了ASML的光刻机。

    来自中科院官方的消息报道,中科院光电所所长、超分辨光刻装备项目首席科学家罗先刚研究员介绍说,2012年,该所承担了超分辨光刻装备这一国家重大科研装备项目研制任务,经过近7年艰苦攻关,在无国外成熟经验可借鉴的情况下,项目组突破了高均匀性照明、超分辨光刻镜头、纳米级分辨力检焦及间隙测量和超精密、多自由度工件台及控制等关键技术,完成国际上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备研制,其采用365纳米波长光源,单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米(约1/17曝光波长)。在此基础上,项目组还结合超分辨光刻装备项目开发的高深宽比刻蚀、多重图形等配套工艺,实现了10纳米以下特征尺寸图形的加工。

    这一世界首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备是基于表面等离子体超衍射研制而成,它打破了传统光学光刻分辨力受限于光源波长及镜头数值孔径的传统路线格局,形成了一条全新的超衍射纳米光刻从原理、装备到工艺的技术路线,具有完全自主知识产权,为超材料/超表面、第三代光学器件、广义芯片等变革性战略领域的跨越式发展提供了制造工具。

    除此之外,国产的光刻机还有一个优势就是价格便宜,项目副总设计师胡松在接受《环球时报》记者采访时提到每台光刻机的售价应该在1000万元到2000万元人民币之间,未来市场前景广阔,但是完全替代荷兰ASML公司垄断的尖端集成电路光刻机还有一段路要走。

    “我们自主研制的光刻设备目前可以小批量生产,助力新型纳米器件产品制造。在生产效率、套刻精度、芯片面积和成品率上还有待进一步提升”,副总设计师胡松说。

    光电所根据实际需要,已经实现了相关器件的制造,包括纳米透镜和波前调控等超材料/超表面器件,大口径轻量化薄膜镜等第三代光学器件,切伦科夫辐射、LSPR和SERS生化传感、超导纳米线单光子探测等系列新型纳米器件的制造。

    相关器件已在中国航天科技集团公司第八研究院、电子科大太赫兹科学技术研究中心、四川大学华西医院、中科院微系统所信息功能材料国家重点实验室等多家科研院所和高校的重大研究任务中取得应用。


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    已有 24 条评论,共 323 人参与。
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    • 这些评论亮了
    • 游客  2018-12-02 12:18

      以下为引用:我就是光电所的,我们这个设备实现了激光束22纳米(国内肯定是领先的,当然国际上落后),可以做简单的线,点,光栅部件,拿来做刻芯片这种超级复杂的ic制造是完全没有可能的,那个难度是画简单线的十万倍,因为还需要高精度镜头和高精度对准技术,我们这个设备立项本来就不是拿来刻芯片的,有人说我们骗,我们光电所什么时候宣传过这个设备可以刻芯片了,都是外界一些什么都不懂的外行一厢情愿的以为这个就是芯片厂的光刻机,和我们没有任何关系。 ...

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      21#

    • 游客  2018-12-01 12:47

      要是真的牛逼早就卖出天价了

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      12#

    • 星耀月夜大学生 2018-12-04 16:34    |  加入黑名单

      别想多了,这种不能用的实验室产品都是报的成本价,让大家开心开心,真做出实用产品实际采购中只会比国外更贵,之前国产SSD大家也应该都感受过了

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      24#

    • 游客  2018-12-03 08:44

      只能刻简单的线,没法制作CPU(任意画线),不过原理上确实是突破

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      23#

    • 游客  2018-12-02 13:05

      不信。或许参数为真,但必定无法实用。

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      22#

    • 游客  2018-12-02 00:54

      该评论因举报过多,自动进入审核状态。

      20#

    • 游客  2018-12-01 23:39

      不明白,要是技术牛逼,能卖高价为啥东西只卖白菜价。还是天生贱,就愿卖白菜价?还是粗制滥造只能买白菜价

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      19#

    • 游客  2018-12-01 22:19

      因为田巢的研发成本很低 仅需要从对方研发人员那购买就可以了!这样才有竞争力!欧耶!

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      18#

    • 下穿穿博士 2018-12-01 20:28    |  加入黑名单

      便宜没好货

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      17#

    • 我是游客啊博士 2018-12-01 20:06    |  加入黑名单

      QQ23870862 终极杀人王

      能拿去生产产品才算成功!
      2018-12-01 10:58 已有16次举报
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    • 穷B你买不起的,你就是用intel散片和矿卡的命!

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      16#

    • 游客  2018-12-01 18:38

      基因编辑婴儿还搞对照组都敢吹牛逼,还有什么不干的

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      15#

    • 超能康猩猩教授 2018-12-01 15:44    |  加入黑名单

      游客

      最少还有5年才能大面积商用
      2018-12-01 10:26 已有1次举报
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    • 这个东西去年就已经在实际应用了,文章最后一段话已经交代了。
      问题在于这个光刻机并不能取代制造芯片的光刻机,不过其技术原理确实大有可图,这个技术甚至给了咱们突破现有工艺极限的希望。

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      14#

    • yingjiazhong博士 2018-12-01 14:51    |  加入黑名单

      主要是不能直接代替ASML的光刻机,原理不同,生产流程就不一样,要应用没那么简单,需要一整套配套的工艺流程和设备,所以,卖便宜点培育市场先吧。

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      13#

    • 游客  2018-12-01 12:00

      咱中国就是人家对你好,就堕落,人家处处针对你,还是能搞定的,只是时间问题而已。

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      11#

    • mokn研究生 2018-12-01 11:51    |  加入黑名单

      QQ23870862 终极杀人王

      能拿去生产产品才算成功!
      2018-12-01 10:58 已有16次举报
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    • 不生成产品,谁买,买得起得人只比会你聪明,

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      10#

    • 我匿名了  2018-12-01 11:06

      QQ23870862 终极杀人王

      能拿去生产产品才算成功!
      2018-12-01 10:58 已有16次举报
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    • 如果可以,你直播吃翔?

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      9#

    • 游客  2018-12-01 11:05

      买的太便宜了,这不是扰乱市场秩序讨怼吗

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      8#

    • QQ23870862终极杀人王 2018-12-01 10:58    |  加入黑名单

      能拿去生产产品才算成功!

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      7#

    • 游客  2018-12-01 10:40

      游客

      这个知乎上有大面积讨论,就目前而言,学者说的比较客观的,而新闻媒体报道的夸张了。不同原理的光刻机,不代表能加工22nm甚至10nm的元件就能加工那个精度的芯片。能到这个精度,只能是一些高精密度光栅等简单图形
      2018-12-01 09:24
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    • 不过有突破是实打实的,有突破就有点希望

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      6#

    • lpiori2博士 2018-12-01 10:39    |  加入黑名单

      不同类型,不同作用就没什么可比性吧

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      5#

    • 游客  2018-12-01 10:26

      最少还有5年才能大面积商用

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      4#

    • 不要让我看见你博士 2018-12-01 09:34    |  加入黑名单

      这东西问题不在于价格,而在于价值!

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      3#

    • 游客  2018-12-01 09:24

      这个知乎上有大面积讨论,就目前而言,学者说的比较客观的,而新闻媒体报道的夸张了。不同原理的光刻机,不代表能加工22nm甚至10nm的元件就能加工那个精度的芯片。能到这个精度,只能是一些高精密度光栅等简单图形

      支持(15)  |   反对(0)  |   举报  |   回复

      2#

    • cjrcl博士 2018-12-01 09:22    |  加入黑名单

      已经有了初步应用,看来多年后能形成完整的产业链

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      1#

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