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    在10nm节点之后,全球有能力研发先进工艺的半导体制造公司就剩下英特尔、台积电及三星了,其中台积电在7nm及以后的节点工艺上进度是最快的,目前几乎垄断了7nm芯片代工订单。台积电的5nm工艺最快明年也会试产,在此之后还有3nm工艺,台积电目前还在准备阶段,昨天台湾主管部门通过了台积电3nm工厂环差案,预计总投资不低于6000亿新台币,也就是200亿美元规模,2020年开工建设,2022年底量产3nm工艺。

    对于3nm晶圆厂来说,除了技术研发之外,它对水电的消耗也不容忽视,特别是在大量使用EUV工艺之后,我们之前在介绍EUV光刻机时就提到过这个问题,由于EUV极其耗电,因为13.5nm的紫外光容易被吸收,导致转换效率非常低,据说只有0.02%,目前ASML的EUV光刻机输出功率是250W,工作一天就要耗电3万度,所以晶圆厂耗电量极其惊人,台积电公布的2016社会责任报告中提到耗电量总计88.5亿度。

    除了耗电之外,晶圆厂在制造芯片的过程中还需要大量水源,大型晶圆厂每日用水量高达5万吨,尽管现在已经做到了80%以上的循环用水,但是总量依然惊人,所以建设半导体晶圆厂对环境方面的压力还是很大的,工艺越先进,问题就越明显。

    台积电的3nm晶圆厂坐落在台湾南科园区,占地28公顷,位置紧邻台积电的5nm工厂。今年8月中旬台湾环保部门已经通过了“台南科学园区二期基地开发暨原一期基地变更计画环差案”初审,昨天环差案通过审查,台积电将于2020年9月自南科管理局取得用地后,随即动土展开3纳米新厂兴建作业。

    根据台积电的资料,他们的3nm项目投资超过6000亿新台币,约为194亿美元或者1347亿人民币,2020年开始建厂,2021年完成设备安装,预计2022年底到2023年初量产。


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    已有 10 条评论,每一条合规评论都是对我们的褒奖。
    • 游客 2018-12-21 01:51

      内部消息,丹麦光刻机已经3nm量产了,就差动工

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      11#

    • 游客 2018-12-20 16:05

      游客

      湾湾叫“环差”么?第一次听说,大陆叫“环评”。另ASML的EUV光刻机输出功率是250W,确定是250w?不是250kw?
      2018-12-20 10:25 已有4次举报
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    • 环差是原先提交的环评通过后的程序 如果开发商想要更改部分之前规定的内容(变动不大到需要重新环评的程度)可以走环差流程

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      10#

    • 游客 2018-12-20 15:04

      135nm

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      9#

    • 游客 2018-12-20 14:17

      台灣叫環評,沒聽過環差。

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      8#

    • 游客 2018-12-20 12:44

      三万度是整个工厂不是一台光刻机吧

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      7#

    • 红色的龙博士 2018-12-20 12:39

      放到大陆来建吧,建十个,随便建

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      6#

    • 超能康猩猩教授 2018-12-20 12:33

      游客

      湾湾叫“环差”么?第一次听说,大陆叫“环评”。另ASML的EUV光刻机输出功率是250W,确定是250w?不是250kw?
      2018-12-20 10:25 已有4次举报
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    • 输出是250W,但是效率只有0.02%,也就是输入功率达到了250W÷0.02%=1250000W=1250KW

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      5#

    • 游客 2018-12-20 10:32

      194美元,给我来十个晶圆厂

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      4#

    • 游客 2018-12-20 10:25

      湾湾叫“环差”么?第一次听说,大陆叫“环评”。另ASML的EUV光刻机输出功率是250W,确定是250w?不是250kw?

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      3#

    • QQ23870862终极杀人王 2018-12-20 09:47

      就等收复台湾·了

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      2#

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