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    在刚刚过去的IEDM 2019大会上面,ASML这家目前全球最大的EUV光刻机生产商给出了一个数据:从2018年1月份以来,EUV光刻系统生产的晶圆数量已经超过2011年至2017年的总和,达到250万片,而从图上可以看到,从2013开始总共已经生产了多达450万张EUV晶圆。

    ASML_EUV-1_1200
    图片来自于AnandTech,下同

    使用EUV光刻系统生产的晶圆数量从2018年开始猛增,其中的一大原因就是ASML的EUV光刻系统开始出货,而在2019年我们看到台积电和三星这两家的EUV生产工艺达到了成熟可用的地步,并且投入了正式的生产,比如麒麟990 5G使用的就是台积电的7nm EUV制程,而三星那边则是有Exynos 9825,而明年则是会有更多的芯片选择使用EUV工艺来制造,比如AMD的Zen 3、高通的5G芯片组等。而Intel那边也是要在7nm节点引入EUV技术进行生产,所以未来使用EUV制程的晶圆数量只会越来越多。

    根据目前的数据,截至2019年第二季度,ASML的NXE:3400B系统已经在全球的晶圆生产工厂中安装了38套,而更新的NXE:3400C则是可以达到更高的产能,每小时最高可达170张晶圆。

    ASML_EUV-2_1200

    ASML_EUV-3_1200

    未来ASML将推出接替NXE系列的EXE:5000系列光刻机,它将会帮助半导体生产商继续攀爬工艺,计划将于2023年推向市场,届时台积电的3nm和Intel的5nm技术可能都将借力于新款的光刻机。

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    • 游客 2019-12-19 14:55

      QQ23870862 终极杀人王

      期待中国复制出来
      2019-12-19 01:42 已有2次举报
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    • 不要什麼都復制復制....中國要是什麼都白菜價不給其他國家活路...
      最後就是........

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      6#

    • QQ23870862终极杀人王 2019-12-19 01:42  加入黑名单

      期待中国复制出来

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      5#

    • 拾人牙慧教授 2019-12-18 14:00  加入黑名单

      是不是可以期待一下14nm EUV,反正EUV省时省事,提高14nm产能嘛

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      4#

    • 倪嘉声博士 2019-12-18 12:58  加入黑名单

      游客

      高通865不是EUV工艺好么。。。
      2019-12-18 12:42
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    • 犯糊涂了,已经修正,感谢指出

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      3#

    • 游客 2019-12-18 12:42

      高通865不是EUV工艺好么。。。

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      2#

    • vigo93一代宗师 2019-12-18 12:12  加入黑名单

      这其中并没有一片是INTEL先进的14nm+++++++++++++++

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      1#

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