• 人民日报谈科技报道:自嗨文误导公众,影响科研事业形象

    孟宪瑞 发布于2018-12-24 09:17 / 关键字: 科技报道, 人民日报, 自嗨文, 光刻机

    前不久中科院研发成功世界首台分辨力最高的紫外超分辨光刻机的消息刷屏了,光刻机犹如中国飞机、船舶、汽车行业的发动机一样,不仅是核心技术,而且都是国产技术羸弱的地方,所以在这些领域取得突破往往会被大量传播报道。但在不同的报道中,有些报道还比较客观,部分自媒体为了吸引眼球就肆意夸大。对于科技报道的问题,人民日报上周也发表评论文章,指出大其词、耸人听闻的“自嗨文”不仅会误导公众,还会损坏中国科研事业的形象。

      展开阅读 

    分享
    | 收藏 | 评论(20)

  • 国产5nm等离子刻蚀机通过台积电验证,用于全球首个5nm工艺

    孟宪瑞 发布于2018-12-18 09:24 / 关键字: 光刻机, 刻蚀机, 中微电子, 5nm, 台积电

    前段时间国内研发成功紫外超分辨SP光刻机的消息刷屏了,使用365nm波长就能实现单次曝光最高线宽分辨力达到22nm,它打破了传统光学光刻分辨力受限于光源波长及镜头数值孔径的传统路线格局,而且这套设备的价格只要1000-2000万元,不到EUV光刻机的2%。不过这套SP光刻机技术突破意义虽大,但并不能取代现有的光刻机,只适合特种工艺,不适合大规模量产。除了光刻机之外,半导体生产还需要其他设备,比如刻蚀机,国内的中微电子已经研发成功5nm等离子刻蚀机,并通过了台积电的认证,将用于全球首条5nm工艺。

      展开阅读 

    分享
    | 收藏 | 评论(33)

  • 中国把超分辨光刻机卖出白菜价,仅为ASML EVU光刻机价格2%

    孟宪瑞 发布于2018-12-01 09:18 / 关键字: 光刻机, ASML, 中科院

    昨天中科院光电所研发成功的紫外超分辨光刻机在各大媒体上刷屏了,它打破了传统光学光刻分辨力受限于光源波长及镜头数值孔径的传统路线格局,使用365nm波长就能实现单次曝光最高线宽分辨力达到22nm。除了技术水平之外,中科院的这套光刻机价格非常低廉,项目副总设计师胡松表示其售价会在1000万到2000万元之间,这价格在光刻机中真的是白菜价了,ASML的193nm光刻机售价在7000万美元以上,EUV光刻机售价在1亿欧元以上,国内的光刻机价格仅为EUV光刻机价格2%,不过双方的技术体系也是不同的,国产光刻机现在还取代不了ASML的光刻机。

      展开阅读 

    分享
    | 收藏 | 评论(24)

  • 我国研发分辨力最高的紫外超分辨光刻机,可生产10nm以下工艺 ...

    孟宪瑞 发布于2018-11-30 09:30 / 关键字: 中科院, 光刻机, 等离子衍射, ASML, 半导体

    国内的半导体芯片对进口依赖非常高,特别是高端的内存、闪存、处理器等芯片,国内的技术落后,还不能完全国产替代。国内半导体在制造领域是落后最多的,很多人都知道光刻机在芯片生产中的的重要性,荷兰ASML公司目前垄断了高端光刻机的研发、生产。昨天中科院发布消息,中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备——超分辨光刻装备项目通过验收,这个项目最主要的成果就是中国科学家研发成功世界首台分辨力最高的紫外超分辨光刻机,365nm波长即可生产22nm工艺芯片,通过多重曝光等手段可以实现10nm以下的芯片生产。

      展开阅读 

    分享
    | 收藏 | 评论(34)

  • ASML、IMEC联合研发第二代EUV光刻机,3nm工艺的救星?

    孟宪瑞 发布于2018-10-30 10:24 / 关键字: IMEC, EUV, ASML, 光刻机, 物镜

    随着三星宣布7nm EUV工艺的量产,2018年EUV光刻工艺终于商业化了,这是EUV工艺研发三十年来的一个里程碑。不过EUV工艺要想大规模量产还有很多技术挑战,目前的光源功率以及晶圆产能输出还没有达到理想状态,EUV工艺还有很长的路要走。在现有的EUV之外,ASML与IMEC比利时微电子中心还达成了新的合作协议,双方将共同研发新一代EUV光刻机,NA数值孔径从现有的0.33提高到0.5,可以进一步提升光刻工艺的微缩水平,制造出更小的晶体管。

      展开阅读 

    分享
    | 收藏 | 评论(2)

  • ASML明年将出货30台EUV光刻机,新一代EUV光刻机产能提升24%

    孟宪瑞 发布于2018-10-18 13:13 / 关键字: ASML, EUV, 光刻机, 产能, 三星,台积电

    台积电前不久试产了7nm EUV工艺,预计明年大规模量产,三星今天宣布量产7nm EUV工艺,这意味着EUV工艺就要正式商业化了,而全球最大的光刻机公司荷兰ASML为这一天可是拼了20多年。ASML公司日前发布2018年Q3季度财报,当季营收27.8亿欧元,净利润6.8亿欧元,出货了5台EUV光刻机,全年预计出货18台,明年将增长到30台,而且明年下半年会推出新一代的NXE:3400C型光刻机,生产能力从现在的每小时125晶圆提升到155片晶圆以上,意味着产能提升24%。

      展开阅读 

    分享
    | 收藏 | 评论(10)

  • (更新)迫于美国政府压力,光刻机巨头ASML被曝不再招收中国人 ...

    孟宪瑞 发布于2018-08-22 10:24 / 关键字: ASML, 光刻机, euv, 美国

    在光刻机领域,荷兰ASML公司几乎垄断了全球高端光刻机市场,在EUV光刻机中更是独一份,7nm及以后的工艺都要依赖EUV光刻机。在高科技领域,美国这一年来加强了对中国人的防范,不只限于美国本土,就连欧洲公司也受到了美国政府的压力,荷兰ASML被曝禁止招收中国籍员工。

      详细阅读 

    分享
    | 收藏 | 评论(58)

  • 超能课堂(145):单价1.2亿美元的光刻机,全球只有一家公司生产 ...

    孟宪瑞 发布于2018-07-19 17:58 / 关键字: 超能课堂, 光刻机, ASML, EUV, 半导体, 芯片制造

    在中国与美国的贸易冲突中,半导体领域是其中的一个重点,它是《中国制造2025》路线图中第一个要解决的高科技领域,也是中国制造业目前的薄弱之处,在半导体设计、制造到封装三个环节中,半导体制造是国内急需突破的领域,但它也是技术门槛最高的,国内最大的半导体制造公司中芯国际的营收只有第一大晶圆代工公司台积电的1/10,与英特尔相比更是只有后者1/20,但是这些芯片制造公司都离不开一个设备——光刻机,它是整个半导体制造行业的明珠。

      详细阅读 

    分享
    | 收藏 | 评论(41)

  • 全球光刻机一哥ASML Q2出货4台EUV光刻机,大陆营收占比19%

    孟宪瑞 发布于2018-07-18 18:06 / 关键字: 光刻机, EUV, ASML, 三星, 台积电

    光刻机,是半导体芯片生产中最重要的设备之一,荷兰ASML公司已经成为全球光刻机市场的一哥,垄断了高端光科技生产,在EUV光刻机领域更是独一份。该公司日前发布了Q2季度财报,当季营收27.4亿欧元,同比增长19.9%。Q2季度ASML出货了4台EUV光刻机,当季营收中来自大陆市场的比例达到了19%,与美国市场持平,低于韩国市场。

      详细阅读 

    分享
    | 收藏 | 评论(22)

  • 长江存储7200万美元购置ASML光刻机,国产闪存下半年量产

    孟宪瑞 发布于2018-05-21 09:15 / 关键字: 长江存储, 光刻机, ASML, 3D闪存, 国产闪存

    前几日有消息称中芯国际花费1.2亿美元购买了ASML公司的EUV光刻机,为未来7nm工艺研发打下了基础。随着国内12英寸晶圆厂的大量建成,光刻机等半导体生产装备还会更多。周末有消息报道称长江存储购买的光刻机已经运抵武汉,售价高达7200万美元(约合4.6亿),可用于生产14-20nm工艺晶圆。

      展开阅读 

    分享
    | 收藏 | 评论(10)

  • 单价1.2亿美元,中芯国际的EUV光刻机明年交付:国产7nm有戏了 ...

    孟宪瑞 发布于2018-05-16 10:51 / 关键字: EUV, 光刻机, ASML, 中芯国际, 7nm

    今年英特尔、台积电、三星、Globalfoundries等半导体公司的制程工艺已经进化到了10nm、7nm节点,国产最先进的工艺依然是28nm工艺,差距在三代以上。国内半导体工艺为什么发展不起来?很多人会说中国缺少先进的光刻机,特别是EUV光刻机,而不能引进的缘由是美国欧盟禁售EUV给中国。这实际上也是一个流传多年的谣言了,EUV光刻机很快就要进入中国了,日媒报道称中芯国际已经向ASML订购了一台EUV光刻机,单价1.2亿美元,预计明年初交付。

      展开阅读 

    分享
    | 收藏 | 评论(29)

  • EUV光刻机供不应求,ASML公司收入增长25%

    Origin 发布于2017-07-20 17:26 / 关键字: EUV, 光刻机

    目前三星和TSMC等半导体生产商的EUV极端紫外线光刻机均采购自荷兰的ASML公司,作为光刻机的龙头老大荷兰ASML占据着高达80%的市场份额,垄断了高端光刻机的市场,尼康也不是ASML的对手。Intel,TSMC,三星等公司用来制造14/16nm芯片的光刻机都是从ASML公司那买来的,正因为此,ASML的收入在今年增长了25%。

      展开阅读 

    分享
    | 收藏 | 评论(16)

  • EUV光刻机有望进入中国?ASML与上海签订合作协议

    bolvar 发布于2017-06-22 10:53 / 关键字: ASML, 光刻机, EUV, 上海

    中国是全球最大的半导体市场,但是国产化率很低,主要的芯片研发、生产、测试都要依赖国外公司,所以这几年主管部门加大了半导体产业投入,各地投资兴建晶圆厂、封装厂已经屡见不鲜。有了政府扶植,国内公司不差钱,但是并不掌握半导体核心技术,比如光刻机这种芯片制造关键设备就严重落后于Intel、三星等公司。受制于美国等国家的封锁,中国公司有钱也买不到先进光刻机,特别是下一代工艺中至关重要的EUV光刻机,不过EUV光刻机的生产方ASML日前宣布进军中国,将在上海设立一个培训中心。

    光刻机是处理器制造过程中非常重要的一步

      展开阅读 

    分享
    | 收藏 | 评论(9)

  • 尼康起诉ASML/卡尔蔡司光刻机专利侵权,ASML对此表示失望

    bolvar 发布于2017-04-25 13:19 / 关键字: 尼康, ASML, 光刻机, EUV, 专利

    光刻机是集成电路制造过程中的核心设备,也是提升先进工艺的拦路虎,中国半导体工艺提升不上去跟光刻机被禁售也有一定关系。在光刻机领域,特别是即将到来的EUV光刻机市场上,荷兰ASML公司现在成了唯一的选择,尽管一套EUV光刻机售价超过1亿欧元,但是Intel、三星、TSMC公司依然大把砸钱升级EUV光刻机。曾几何时,日本公司在光刻机领域也是称霸一方的,光学实力强劲的尼康、佳能也是光刻机市场巨头,不过现在日系公司在光刻机辉煌不再。意外的是,今天尼康公司宣布在全球起诉ASML及合作伙伴卡尔蔡司侵犯了尼康的专利权

    ASML的EUV光刻机在新一代半导体市场上炙手可热

      展开阅读 

    分享
    | 收藏 | 评论(12)

  • 每台售价超过1亿欧元的EUV光刻机,ASML卖了18台

    bolvar 发布于2017-01-19 10:20 / 关键字: ASML, EUV, 光刻机, Intel

    每每提到半导体行业发展,免不了要说下中国最近两年发展集成电路的决心之强、投资之大,国内公司对人才也求贤若渴,不惜高薪挖人,但在关键技术上,我们落后欧美公司还是挺多的,特别是在半导体制造装备上,先进的光刻机还被欧美封锁,有钱也买不到。进入10nm工艺节点之后,EUV光刻机越来越重要,全球能产EUV光刻机的就是荷兰ASML公司了,他们总共卖出18台EUV光刻机,总价值超过20亿欧元,折合每套系统售价超过1亿欧元,可谓价值连城。

    ASML公司的光刻机是半导体生产中至关重要的装备

      展开阅读 

    分享
    | 收藏 | 评论(36)