• 台积电拥有着世界上一半的EUV光刻机,承包了全球EUV晶圆产能的60%

    张伟健 发布于2020-08-28 17:13 / 关键字: 台积电, EUV光刻机, ASML

    在本周的技术研讨会上,台积电对他们在制程和封装工艺等技术的最新进展做出讲解,公布了5nm制程工艺和3nm制程工艺的一些消息。根据台积电公布的消息,台积电的N5工艺使用了第二代DUV+EUV光刻技术,是N7之后的一个完整节点,相比起N7,它在同性能下能够节省30%的能耗,在同能耗下能够实现15%的性能提升,逻辑电路密度是N7的1.8倍。

    除了新制程的一些消息之外,台积电在技术研讨会上还展示了一页非常有意思的PPT。台积电展示的PPT显示,这家公司拥有着世界上约一半的正在服役的EUV光刻机产品。与之相对应的是,台积电承包了全球所有EUV晶圆产能的60%。目前,台积电正在大批量投入产线的EUV光刻只有两个节点,分别是7nm节点以及5nm节点。

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  • 超能课堂(217):什么是EUV光刻机?为什么大家都在追求它?

    Strike 发布于2020-02-27 15:22 / 关键字: EUV, 光刻机, ASML, 7nm

    近些年来EUV光刻这个词大家应该听得越来越多,三星在去年发布的Exynos 9825 SoC就是首款采用7nm EUV工艺打造的芯片,台积电的7nm+也是他们首次使用EUV光刻的工艺,苹果的A13和华为麒麟990用的就是这工艺,Intel也打算在他们的7nm节点上切入到EUV工艺,为什么这些半导体巨头们都在追捧EUV工艺呢?

    ASML最新的NEX:3400C光刻机

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  • ASML称从2018年至今已经生产了250万张EUV晶圆:最新机器每小时可生产170张

    倪嘉声 发布于2019-12-18 11:59 / 关键字: ASML, EUV

    在刚刚过去的IEDM 2019大会上面,ASML这家目前全球最大的EUV光刻机生产商给出了一个数据:从2018年1月份以来,EUV光刻系统生产的晶圆数量已经超过2011年至2017年的总和,达到250万片,而从图上可以看到,从2013开始总共已经生产了多达450万张EUV晶圆。

    ASML_EUV-1_1200图片来自于AnandTech,下同

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  • Intel线路图显示他们想恢复两年升级一次工艺,2029年有1.4nm(有更新)

    Strike 发布于2019-12-11 10:57 / 关键字: Intel, ASML, 10nm, 7nm, 1.4nm

    更新:

    Intel现在对此进行了回应,说着张幻灯片并非官方公布的,其实ASML CEO更改了Intel今年9月份一次会议上幻灯片,实际原本展示过的图中没有公布各个时间的制程节点数字,造成误解,原图如下:

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  • 全球对于EUV设备的需求不断上升:ASML三季度财务数据大涨

    倪嘉声 发布于2019-10-17 10:28 / 关键字: ASML, EUV

    随着老的深紫外光刻(DUV)在7nm/10nm时代到达极限之后,极紫外光刻就成了全村人的希望。台积电基于EUV开发出了他们的7nm+工艺,目前已经确定将用在几款新的手机处理器上,而三星那边也宣布自己基于EUV的7nm工艺投产并且已经有实际的产品出来了,Intel也是在之前就宣布将在7nm时代使用EUV工艺。

    ASML_EUV_900

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  • ASML第二季度销售额达到26亿欧元,新款光刻机DRAM芯片产量更高

    唐裕之 发布于2019-07-18 10:37 / 关键字: ASML, 光刻机, 财报

    ASML在昨天公布了今年第二季度财报,当季度销售额达到了26亿欧元,毛利率为43%,净利润为4.76亿欧元。由于EUV光刻机的推动,这个季度ASML签订了10个新订单,其中逻辑芯片生产设备订单占67%,其余的部分则是来源于存储芯片生产设备,这也说明了逻辑芯片的强烈需求。同时在电话会议中,ASML再次强调了其最新一代的EUV光刻机NXE:3400C,在工厂生产条件下每天可以生产超过2000片晶圆。

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  • ASML发布Q1季度财报:营收22.3亿欧元,EUV光刻机下半年产能大增 ...

    孟宪瑞 发布于2019-04-18 10:32 / 关键字: ASML, 光刻机, EUV, NXE:3400C

    荷兰ASML公司今天发布了2019年Q1季度财报,当季营收22.3亿欧元,毛利率41.6%,净利润3.55亿欧元。Q1季度中ASML公司出货了4台EUV光刻机,比前一个季度少了1台,不过好消息是ASML下半年会推出新一代EUV光刻机NXE:3400C,这款光刻机的产能将从每小时125片晶圆提升到170片每小时,意味着半导体制造厂的EUV产能会大幅增加,这对三星、台积电来说是个好消息。

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  • ASML回应中国员工窃密:有其他国家人员参与,反对贴标签

    孟宪瑞 发布于2019-04-12 09:44 / 关键字: ASML, 中国, 商业窃密, 光刻机

    荷兰ASML公司是全球知名的光刻机公司,EUV光刻机领域还是唯一的供应商,7nm节点及之后的工艺中,不论英特尔还是台积电、三星都要依赖ASML的EUV光刻机。光刻机是半导体制造中的核心技术之一,自然容易成为其他公司觊觎的目标。昨天荷兰报纸炒作多年前的一起旧案,称6名中国员工窃取了ASML的商业机密,暗示此事有国家行为。不过对他们的报道,ASML并不领情,该公司发公告称这起窃密案还有其他国家人员参与,他们反对贴国家标签的行为,并对中欧之间日前达成的保护知识产权协议感到鼓舞。

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  • ASML去年出货18台EUV光刻机,中国市场需求依然强劲

    孟宪瑞 发布于2019-01-25 10:40 / 关键字: ASML, 光刻机, EUV, 半导体设备

    就像提到国产飞机必有人提中国发动机不行一样,提到半导体也有人一直在提中国光刻机不行的问题,而全球的光刻机目前垄断在几家公司手中,其中荷兰ASML是目前最主要的光刻机供应商,EUV光刻机更是全球独一份。日前ASML公司发表了2018年Q4及全年财报,全年营收109亿欧元,净利润26亿欧元,EUV光刻机出货18台。来自中国的营收占到了ASML的18%,尽管全球半导体行业2019年遇冷,三星、SK Hynix等存储芯片公司要削减投资,但ASML表示来自中国的出口需求还很强劲,对2019年的业绩有信心。

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  • ASML供应商突遭火灾,明年初的EUV光刻机交货将延期

    孟宪瑞 发布于2018-12-04 09:26 / 关键字: EUV光刻机, ASML, 火灾, Prodrive

    最近中科院研发成功紫外超分辨光刻机的消息刷屏了,使用365nm波长就能实现单次曝光最高线宽分辨力达到22nm,这个技术水平在光刻机中是很了不起的,做到了SP表面等离子体超衍射光刻机的极致,而且价格只有1000-2000万元,不过中科院的SP光刻机并不能取代ASML的光刻机,二者的用途并不一样,晶圆厂制造半导体芯片依然离不开ASML的光刻机。今天台积电、三星等公司要心惊一下了,因为ASML光刻机交货遇到问题了,ASML元件供应商Prodrive突遭大火,导致部分生产线及库存被毁,将影响2019年初ASML光刻机的交付日期,不过今年内的ASML光刻机交付不受影响。

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  • 中国把超分辨光刻机卖出白菜价,仅为ASML EVU光刻机价格2%

    孟宪瑞 发布于2018-12-01 09:18 / 关键字: 光刻机, ASML, 中科院

    昨天中科院光电所研发成功的紫外超分辨光刻机在各大媒体上刷屏了,它打破了传统光学光刻分辨力受限于光源波长及镜头数值孔径的传统路线格局,使用365nm波长就能实现单次曝光最高线宽分辨力达到22nm。除了技术水平之外,中科院的这套光刻机价格非常低廉,项目副总设计师胡松表示其售价会在1000万到2000万元之间,这价格在光刻机中真的是白菜价了,ASML的193nm光刻机售价在7000万美元以上,EUV光刻机售价在1亿欧元以上,国内的光刻机价格仅为EUV光刻机价格2%,不过双方的技术体系也是不同的,国产光刻机现在还取代不了ASML的光刻机。

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  • 我国研发分辨力最高的紫外超分辨光刻机,可生产10nm以下工艺 ...

    孟宪瑞 发布于2018-11-30 09:30 / 关键字: 中科院, 光刻机, 等离子衍射, ASML, 半导体

    国内的半导体芯片对进口依赖非常高,特别是高端的内存、闪存、处理器等芯片,国内的技术落后,还不能完全国产替代。国内半导体在制造领域是落后最多的,很多人都知道光刻机在芯片生产中的的重要性,荷兰ASML公司目前垄断了高端光刻机的研发、生产。昨天中科院发布消息,中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备——超分辨光刻装备项目通过验收,这个项目最主要的成果就是中国科学家研发成功世界首台分辨力最高的紫外超分辨光刻机,365nm波长即可生产22nm工艺芯片,通过多重曝光等手段可以实现10nm以下的芯片生产。

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  • ASML、IMEC联合研发第二代EUV光刻机,3nm工艺的救星?

    孟宪瑞 发布于2018-10-30 10:24 / 关键字: IMEC, EUV, ASML, 光刻机, 物镜

    随着三星宣布7nm EUV工艺的量产,2018年EUV光刻工艺终于商业化了,这是EUV工艺研发三十年来的一个里程碑。不过EUV工艺要想大规模量产还有很多技术挑战,目前的光源功率以及晶圆产能输出还没有达到理想状态,EUV工艺还有很长的路要走。在现有的EUV之外,ASML与IMEC比利时微电子中心还达成了新的合作协议,双方将共同研发新一代EUV光刻机,NA数值孔径从现有的0.33提高到0.5,可以进一步提升光刻工艺的微缩水平,制造出更小的晶体管。

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  • ASML明年将出货30台EUV光刻机,新一代EUV光刻机产能提升24%

    孟宪瑞 发布于2018-10-18 13:13 / 关键字: ASML, EUV, 光刻机, 产能, 三星,台积电

    台积电前不久试产了7nm EUV工艺,预计明年大规模量产,三星今天宣布量产7nm EUV工艺,这意味着EUV工艺就要正式商业化了,而全球最大的光刻机公司荷兰ASML为这一天可是拼了20多年。ASML公司日前发布2018年Q3季度财报,当季营收27.8亿欧元,净利润6.8亿欧元,出货了5台EUV光刻机,全年预计出货18台,明年将增长到30台,而且明年下半年会推出新一代的NXE:3400C型光刻机,生产能力从现在的每小时125晶圆提升到155片晶圆以上,意味着产能提升24%。

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  • 英特尔再次抛售ASML股票,EUV光刻工艺量产仍未可期

    孟宪瑞 发布于2018-10-13 10:33 / 关键字: 英特尔, ASML, EUV光刻机, 台积电, 三星

    由于联电及Globalfoundries先后退出先进工艺研发行列,现在有能力研发、投资10nm以下工艺的就剩下台积电、三星和英特尔了,其中台积电今年已经量产了7nm,三星的要晚一些,但三星直接上马了EUV工艺,明年就是EUV工艺量产的开始了。说到EUV工艺,2012年英特尔、三星、台积电为了支持ASML公司研发EUV光刻机,纷纷投资ASML给他们送钱,不过这几年来三家都减持了ASML的股票,英特尔现在再次减持ASML股份,比例降至3%以内。对英特尔来说,他们曾是最坚定支持EUV发展的,但现在却是量产EUV工艺最慢的一家。

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