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超能课堂(217):什么是EUV光刻机?为什么大家都在追求它?

近些年来EUV光刻这个词大家应该听得越来越多,三星在去年发布的Exynos 9825 SoC就是首款采用7nm EUV工艺打造的芯片,台积电的7nm+也是他们首次使用EUV光刻的工艺,苹果的A13和华为麒麟990用的就是这工艺,Intel也打算在他们的7nm节点上切入到EUV工艺,为什么这些半导体巨头们都在追捧EUV工艺呢?

ASML第二季度销售额达到26亿欧元,新款光刻机DRAM芯片产量更高

ASML在昨天公布了今年第二季度财报,当季度销售额达到了26亿欧元,毛利率为43%,净利润为4.76亿欧元。由于EUV光刻机的推动,这个季度ASML签订了10个新订单,其中逻辑芯片生产设备订单占67%,其余的部分则是来源于存储芯片生产设备,这也说明了逻辑芯片的强烈需求。同时在电话会议中,ASML再次强调了其最新一代的EUV光刻机NXE:3400C,在工厂生产条件下每天可以生产超过2000片晶圆。

ASML发布Q1季度财报:营收22.3亿欧元,EUV光刻机下半年产能大增 ...

荷兰ASML公司今天发布了2019年Q1季度财报,当季营收22.3亿欧元,毛利率41.6%,净利润3.55亿欧元。Q1季度中ASML公司出货了4台EUV光刻机,比前一个季度少了1台,不过好消息是ASML下半年会推出新一代EUV光刻机NXE:3400C,这款光刻机的产能将从每小时125片晶圆提升到170片每小时,意味着半导体制造厂的EUV产能会大幅增加,这对三星、台积电来说是个好消息。

ASML去年出货18台EUV光刻机,中国市场需求依然强劲

就像提到国产飞机必有人提中国发动机不行一样,提到半导体也有人一直在提中国光刻机不行的问题,而全球的光刻机目前垄断在几家公司手中,其中荷兰ASML是目前最主要的光刻机供应商,EUV光刻机更是全球独一份。日前ASML公司发表了2018年Q4及全年财报,全年营收109亿欧元,净利润26亿欧元,EUV光刻机出货18台。来自中国的营收占到了ASML的18%,尽管全球半导体行业2019年遇冷,三星、SK Hynix等存储芯片公司要削减投资,但ASML表示来自中国的出口需求还很强劲,对2019年的业绩有信心。

ASML供应商突遭火灾,明年初的EUV光刻机交货将延期

最近中科院研发成功紫外超分辨光刻机的消息刷屏了,使用365nm波长就能实现单次曝光最高线宽分辨力达到22nm,这个技术水平在光刻机中是很了不起的,做到了SP表面等离子体超衍射光刻机的极致,而且价格只有1000-2000万元,不过中科院的SP光刻机并不能取代ASML的光刻机,二者的用途并不一样,晶圆厂制造半导体芯片依然离不开ASML的光刻机。今天台积电、三星等公司要心惊一下了,因为ASML光刻机交货遇到问题了,ASML元件供应商Prodrive突遭大火,导致部分生产线及库存被毁,将影响2019年初ASML光刻机的交付日期,不过今年内的ASML光刻机交付不受影响。

中国把超分辨光刻机卖出白菜价,仅为ASML EVU光刻机价格2%

昨天中科院光电所研发成功的紫外超分辨光刻机在各大媒体上刷屏了,它打破了传统光学光刻分辨力受限于光源波长及镜头数值孔径的传统路线格局,使用365nm波长就能实现单次曝光最高线宽分辨力达到22nm。除了技术水平之外,中科院的这套光刻机价格非常低廉,项目副总设计师胡松表示其售价会在1000万到2000万元之间,这价格在光刻机中真的是白菜价了,ASML的193nm光刻机售价在7000万美元以上,EUV光刻机售价在1亿欧元以上,国内的光刻机价格仅为EUV光刻机价格2%,不过双方的技术体系也是不同的,国产光刻机现在还取代不了ASML的光刻机。

我国研发分辨力最高的紫外超分辨光刻机,可生产10nm以下工艺 ...

国内的半导体芯片对进口依赖非常高,特别是高端的内存、闪存、处理器等芯片,国内的技术落后,还不能完全国产替代。国内半导体在制造领域是落后最多的,很多人都知道光刻机在芯片生产中的的重要性,荷兰ASML公司目前垄断了高端光刻机的研发、生产。昨天中科院发布消息,中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备——超分辨光刻装备项目通过验收,这个项目最主要的成果就是中国科学家研发成功世界首台分辨力最高的紫外超分辨光刻机,365nm波长即可生产22nm工艺芯片,通过多重曝光等手段可以实现10nm以下的芯片生产。

ASML、IMEC联合研发第二代EUV光刻机,3nm工艺的救星?

随着三星宣布7nm EUV工艺的量产,2018年EUV光刻工艺终于商业化了,这是EUV工艺研发三十年来的一个里程碑。不过EUV工艺要想大规模量产还有很多技术挑战,目前的光源功率以及晶圆产能输出还没有达到理想状态,EUV工艺还有很长的路要走。在现有的EUV之外,ASML与IMEC比利时微电子中心还达成了新的合作协议,双方将共同研发新一代EUV光刻机,NA数值孔径从现有的0.33提高到0.5,可以进一步提升光刻工艺的微缩水平,制造出更小的晶体管。

ASML明年将出货30台EUV光刻机,新一代EUV光刻机产能提升24%

台积电前不久试产了7nm EUV工艺,预计明年大规模量产,三星今天宣布量产7nm EUV工艺,这意味着EUV工艺就要正式商业化了,而全球最大的光刻机公司荷兰ASML为这一天可是拼了20多年。ASML公司日前发布2018年Q3季度财报,当季营收27.8亿欧元,净利润6.8亿欧元,出货了5台EUV光刻机,全年预计出货18台,明年将增长到30台,而且明年下半年会推出新一代的NXE:3400C型光刻机,生产能力从现在的每小时125晶圆提升到155片晶圆以上,意味着产能提升24%。

光刻机巨头ASML否认不招中国人,但部分国家需美国许可

前几天有网友爆料全球最大的光刻机厂商荷兰ASML不再招收中国籍员工,主要原因是美国政府禁止ASML这么做,随后我们也做过详细报道。昨天ASML方面也联系过我们称不招收中国籍员工、留学生的传闻不实,此外他们还表示ASML欢迎符合职位需求的中国籍人员加入ASML公司,但是ASML也承认在美国开发的技术,包括中国在内的二十多个国家人员需要获得美国政府的许可证才行,而且这个审查有越来越严格的趋势。

(更新)迫于美国政府压力,光刻机巨头ASML被曝不再招收中国人 ...

在光刻机领域,荷兰ASML公司几乎垄断了全球高端光刻机市场,在EUV光刻机中更是独一份,7nm及以后的工艺都要依赖EUV光刻机。在高科技领域,美国这一年来加强了对中国人的防范,不只限于美国本土,就连欧洲公司也受到了美国政府的压力,荷兰ASML被曝禁止招收中国籍员工。

超能课堂(145):单价1.2亿美元的光刻机,全球只有一家公司生产 ... ... ...

在中国与美国的贸易冲突中,半导体领域是其中的一个重点,它是《中国制造2025》路线图中第一个要解决的高科技领域,也是中国制造业目前的薄弱之处,在半导体设计、制造到封装三个环节中,半导体制造是国内急需突破的领域,但它也是技术门槛最高的,国内最大的半导体制造公司中芯国际的营收只有第一大晶圆代工公司台积电的1/10,与英特尔相比更是只有后者1/20,但是这些芯片制造公司都离不开一个设备——光刻机,它是整个半导体制造行业的明珠。

全球光刻机一哥ASML Q2出货4台EUV光刻机,大陆营收占比19%

光刻机,是半导体芯片生产中最重要的设备之一,荷兰ASML公司已经成为全球光刻机市场的一哥,垄断了高端光科技生产,在EUV光刻机领域更是独一份。该公司日前发布了Q2季度财报,当季营收27.4亿欧元,同比增长19.9%。Q2季度ASML出货了4台EUV光刻机,当季营收中来自大陆市场的比例达到了19%,与美国市场持平,低于韩国市场。

《中国制造2025》技术路线图:未来攻关EUV光刻机、18寸晶圆

硅基半导体产业为什么能发展壮大?因为硅元素是地球上储备最多、成本最低的半导体材料之一,沙子中就含有大量的硅,就连英特尔制作过的宣传片都叫做“从沙到芯片”。不过另一方面,半导体行业又是全球制造业最高端的行业之一,也是中国正在努力攻破的产业。在《中国制造2025》技术路线图中,列出了多种需要攻克的半导体工艺,值得注意的是EUV光刻机以及18英寸晶圆产业。

长江存储7200万美元购置ASML光刻机,国产闪存下半年量产

前几日有消息称中芯国际花费1.2亿美元购买了ASML公司的EUV光刻机,为未来7nm工艺研发打下了基础。随着国内12英寸晶圆厂的大量建成,光刻机等半导体生产装备还会更多。周末有消息报道称长江存储购买的光刻机已经运抵武汉,售价高达7200万美元(约合4.6亿),可用于生产14-20nm工艺晶圆。

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