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台积电大规模购买EUV光刻机,以提高产能保持业界领先地位

TOMSHARDWARE报道,台积电表示其部署的极紫外光(EUV)光刻工具已占全球安装和运行总量的50%左右,这意味着其使用的EUV机器数量超过了业内其他任何一家公司。为了保持领先,台积电已经下单订购了至少13台ASML的Twinscan NXE EUV光刻机,将会在2021年全年交付,不过具体的交付和安装时间表尚不清楚。同时,明年台积电实际需求的数量可能是高达16到17台EUV光刻机。

台积电拥有着世界上一半的EUV光刻机,承包了全球EUV晶圆产能的60%

在本周的技术研讨会上,台积电对他们在制程和封装工艺等技术的最新进展做出讲解,公布了5nm制程工艺和3nm制程工艺的一些消息。根据台积电公布的消息,台积电的N5工艺使用了第二代DUV+EUV光刻技术,是N7之后的一个完整节点,相比起N7,它在同性能下能够节省30%的能耗,在同能耗下能够实现15%的性能提升,逻辑电路密度是N7的1.8倍。

超能课堂(217):什么是EUV光刻机?为什么大家都在追求它?

近些年来EUV光刻这个词大家应该听得越来越多,三星在去年发布的Exynos 9825 SoC就是首款采用7nm EUV工艺打造的芯片,台积电的7nm+也是他们首次使用EUV光刻的工艺,苹果的A13和华为麒麟990用的就是这工艺,Intel也打算在他们的7nm节点上切入到EUV工艺,为什么这些半导体巨头们都在追捧EUV工艺呢?

ASML发布Q1季度财报:营收22.3亿欧元,EUV光刻机下半年产能大增 ...

荷兰ASML公司今天发布了2019年Q1季度财报,当季营收22.3亿欧元,毛利率41.6%,净利润3.55亿欧元。Q1季度中ASML公司出货了4台EUV光刻机,比前一个季度少了1台,不过好消息是ASML下半年会推出新一代EUV光刻机NXE:3400C,这款光刻机的产能将从每小时125片晶圆提升到170片每小时,意味着半导体制造厂的EUV产能会大幅增加,这对三星、台积电来说是个好消息。

ASML去年出货18台EUV光刻机,中国市场需求依然强劲

就像提到国产飞机必有人提中国发动机不行一样,提到半导体也有人一直在提中国光刻机不行的问题,而全球的光刻机目前垄断在几家公司手中,其中荷兰ASML是目前最主要的光刻机供应商,EUV光刻机更是全球独一份。日前ASML公司发表了2018年Q4及全年财报,全年营收109亿欧元,净利润26亿欧元,EUV光刻机出货18台。来自中国的营收占到了ASML的18%,尽管全球半导体行业2019年遇冷,三星、SK Hynix等存储芯片公司要削减投资,但ASML表示来自中国的出口需求还很强劲,对2019年的业绩有信心。

ASML供应商突遭火灾,明年初的EUV光刻机交货将延期

最近中科院研发成功紫外超分辨光刻机的消息刷屏了,使用365nm波长就能实现单次曝光最高线宽分辨力达到22nm,这个技术水平在光刻机中是很了不起的,做到了SP表面等离子体超衍射光刻机的极致,而且价格只有1000-2000万元,不过中科院的SP光刻机并不能取代ASML的光刻机,二者的用途并不一样,晶圆厂制造半导体芯片依然离不开ASML的光刻机。今天台积电、三星等公司要心惊一下了,因为ASML光刻机交货遇到问题了,ASML元件供应商Prodrive突遭大火,导致部分生产线及库存被毁,将影响2019年初ASML光刻机的交付日期,不过今年内的ASML光刻机交付不受影响。

ASML、IMEC联合研发第二代EUV光刻机,3nm工艺的救星?

随着三星宣布7nm EUV工艺的量产,2018年EUV光刻工艺终于商业化了,这是EUV工艺研发三十年来的一个里程碑。不过EUV工艺要想大规模量产还有很多技术挑战,目前的光源功率以及晶圆产能输出还没有达到理想状态,EUV工艺还有很长的路要走。在现有的EUV之外,ASML与IMEC比利时微电子中心还达成了新的合作协议,双方将共同研发新一代EUV光刻机,NA数值孔径从现有的0.33提高到0.5,可以进一步提升光刻工艺的微缩水平,制造出更小的晶体管。

ASML明年将出货30台EUV光刻机,新一代EUV光刻机产能提升24%

台积电前不久试产了7nm EUV工艺,预计明年大规模量产,三星今天宣布量产7nm EUV工艺,这意味着EUV工艺就要正式商业化了,而全球最大的光刻机公司荷兰ASML为这一天可是拼了20多年。ASML公司日前发布2018年Q3季度财报,当季营收27.8亿欧元,净利润6.8亿欧元,出货了5台EUV光刻机,全年预计出货18台,明年将增长到30台,而且明年下半年会推出新一代的NXE:3400C型光刻机,生产能力从现在的每小时125晶圆提升到155片晶圆以上,意味着产能提升24%。

全球光刻机一哥ASML Q2出货4台EUV光刻机,大陆营收占比19%

光刻机,是半导体芯片生产中最重要的设备之一,荷兰ASML公司已经成为全球光刻机市场的一哥,垄断了高端光科技生产,在EUV光刻机领域更是独一份。该公司日前发布了Q2季度财报,当季营收27.4亿欧元,同比增长19.9%。Q2季度ASML出货了4台EUV光刻机,当季营收中来自大陆市场的比例达到了19%,与美国市场持平,低于韩国市场。

《中国制造2025》技术路线图:未来攻关EUV光刻机、18寸晶圆

硅基半导体产业为什么能发展壮大?因为硅元素是地球上储备最多、成本最低的半导体材料之一,沙子中就含有大量的硅,就连英特尔制作过的宣传片都叫做“从沙到芯片”。不过另一方面,半导体行业又是全球制造业最高端的行业之一,也是中国正在努力攻破的产业。在《中国制造2025》技术路线图中,列出了多种需要攻克的半导体工艺,值得注意的是EUV光刻机以及18英寸晶圆产业。

单价1.2亿美元,中芯国际的EUV光刻机明年交付:国产7nm有戏了 ...

今年英特尔、台积电、三星、Globalfoundries等半导体公司的制程工艺已经进化到了10nm、7nm节点,国产最先进的工艺依然是28nm工艺,差距在三代以上。国内半导体工艺为什么发展不起来?很多人会说中国缺少先进的光刻机,特别是EUV光刻机,而不能引进的缘由是美国欧盟禁售EUV给中国。这实际上也是一个流传多年的谣言了,EUV光刻机很快就要进入中国了,日媒报道称中芯国际已经向ASML订购了一台EUV光刻机,单价1.2亿美元,预计明年初交付。

EUV光刻机供不应求,ASML公司收入增长25%

目前三星和TSMC等半导体生产商的EUV极端紫外线光刻机均采购自荷兰的ASML公司,作为光刻机的龙头老大荷兰ASML占据着高达80%的市场份额,垄断了高端光刻机的市场,尼康也不是ASML的对手。Intel,TSMC,三星等公司用来制造14/16nm芯片的光刻机都是从ASML公司那买来的,正因为此,ASML的收入在今年增长了25%。

EUV光刻机有望进入中国?ASML与上海签订合作协议

中国是全球最大的半导体市场,但是国产化率很低,主要的芯片研发、生产、测试都要依赖国外公司,所以这几年主管部门加大了半导体产业投入,各地投资兴建晶圆厂、封装厂已经屡见不鲜。有了政府扶植,国内公司不差钱,但是并不掌握半导体核心技术,比如光刻机这种芯片制造关键设备就严重落后于Intel、三星等公司。受制于美国等国家的封锁,中国公司有钱也买不到先进光刻机,特别是下一代工艺中至关重要的EUV光刻机,不过EUV光刻机的生产方ASML日前宣布进军中国,将在上海设立一个培训中心。

每台售价超过1亿欧元的EUV光刻机,ASML卖了18台

每每提到半导体行业发展,免不了要说下中国最近两年发展集成电路的决心之强、投资之大,国内公司对人才也求贤若渴,不惜高薪挖人,但在关键技术上,我们落后欧美公司还是挺多的,特别是在半导体制造装备上,先进的光刻机还被欧美封锁,有钱也买不到。进入10nm工艺节点之后,EUV光刻机越来越重要,全球能产EUV光刻机的就是荷兰ASML公司了,他们总共卖出18台EUV光刻机,总价值超过20亿欧元,折合每套系统售价超过1亿欧元,可谓价值连城。

台积电拥有着世界上一半的EUV光刻机,承包了全球EUV晶圆产能的60%

在本周的技术研讨会上,台积电对他们在制程和封装工艺等技术的最新进展做出讲解,公布了5nm制程工艺和3nm制程工艺的一些消息。根据台积电公布的消息,台积电的N5工艺使用了第二代DUV+EUV光刻技术,是N7之后的一个完整节点,相比起N7,它在同性能下能够节省30%的能耗,在同能耗下能够实现15%的性能提升,逻辑电路密度是N7的1.8倍。

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