昨天中科院光电所研发成功的紫外超分辨光刻机在各大媒体上刷屏了，它打破了传统光学光刻分辨力受限于光源波长及镜头数值孔径的传统路线格局，使用365nm波长就能实现单次曝光最高线宽分辨力达到22nm。除了技术水平之外，中科院的这套光刻机价格非常低廉，项目副总设计师胡松表示其售价会在1000万到2000万元之间，这价格在光刻机中真的是白菜价了，ASML的193nm光刻机售价在7000万美元以上，EUV光刻机售价在1亿欧元以上，国内的光刻机价格仅为EUV光刻机价格2%，不过双方的技术体系也是不同的，国产光刻机现在还取代不了ASML的光刻机。
来自中科院官方的消息报道，中科院光电所所长、超分辨光刻装备项目首席科学家罗先刚研究员介绍说，2012年，该所承担了超分辨光刻装备这一国家重大科研装备项目研制任务，经过近7年艰苦攻关，在无国外成熟经验可借鉴的情况下，项目组突破了高均匀性照明、超分辨光刻镜头、纳米级分辨力检焦及间隙测量和超精密、多自由度工件台及控制等关键技术，完成国际上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备研制，其采用365纳米波长光源，单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米(约1/17曝光波长)。在此基础上，项目组还结合超分辨光刻装备项目开发的高深宽比刻蚀、多重图形等配套工艺，实现了10纳米以下特征尺寸图形的加工。
这一世界首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备是基于表面等离子体超衍射研制而成，它打破了传统光学光刻分辨力受限于光源波长及镜头数值孔径的传统路线格局，形成了一条全新的超衍射纳米光刻从原理、装备到工艺的技术路线，具有完全自主知识产权，为超材料/超表面、第三代光学器件、广义芯片等变革性战略领域的跨越式发展提供了制造工具。
除此之外，国产的光刻机还有一个优势就是价格便宜，项目副总设计师胡松在接受《环球时报》记者采访时提到每台光刻机的售价应该在1000万元到2000万元人民币之间，未来市场前景广阔，但是完全替代荷兰ASML公司垄断的尖端集成电路光刻机还有一段路要走。
“我们自主研制的光刻设备目前可以小批量生产，助力新型纳米器件产品制造。在生产效率、套刻精度、芯片面积和成品率上还有待进一步提升”，副总设计师胡松说。
光电所根据实际需要，已经实现了相关器件的制造，包括纳米透镜和波前调控等超材料/超表面器件，大口径轻量化薄膜镜等第三代光学器件，切伦科夫辐射、LSPR和SERS生化传感、超导纳米线单光子探测等系列新型纳米器件的制造。
相关器件已在中国航天科技集团公司第八研究院、电子科大太赫兹科学技术研究中心、四川大学华西医院、中科院微系统所信息功能材料国家重点实验室等多家科研院所和高校的重大研究任务中取得应用。
游客 2018-12-02 12:18
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游客 2018-12-01 12:47
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超能网友大学生 2018-12-04 16:34 | 加入黑名单
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游客 2018-12-03 08:44
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游客 2018-12-02 13:05
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游客 2018-12-02 00:54
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游客 2018-12-01 22:19
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超能网友教授 2018-12-01 20:28 | 加入黑名单
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游客 2018-12-01 12:00
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超能网友终极杀人王 2018-12-01 10:58 | 加入黑名单
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游客 2018-12-01 10:26
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游客 2018-12-01 09:24
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超能网友博士 2018-12-01 09:22 | 加入黑名单
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