SK海力士将使用子公司的KrF PR，用于制造238层NAND闪存

SK海力士在2020年，以400亿韩元（约合人民币2.22亿元）收购了锦湖石油化学的电子材料业务部门。据The Elec报道，近期其开发的厚氟化氪（KrF）光致抗蚀剂（PR）已经通过了SK海力士的质量检验。

三星使用的是Dongjin semhem的产品，与SK海力士的KrF PR相似，厚度大概14至15微米。SK海力士将核心材料交由子公司开发，使得旗下存储器在市场相比竞争对手更具竞争力。随着明年存储器市场逐渐恢复正常，SK海力士的KrF PR销售额也将随之增长。日本的JSR也在开发了自己的PR，厚度为10微米。

在NAND闪存的生产中，需要更“厚”的PR，因为更适合堆叠，比如100层的NAND芯片生产中，一层层制作成本会变得更高，而更厚的PR能让存储器制造商一次制造多个层。不过更厚的PR粘稠度更高，这会对均匀性产生负面影响，因此开发上更具有挑战性。

目前SK海力士的计划是将KrF PR用于238层NAND闪存芯片的生产，同时将JSR作为次要供应商，两种产品都会使用。目前SK海力士每月生产约5000片238层NAND闪存的晶圆，随着KrF PR的引入，预计产量将大幅度攀升。此外，SK海力士还在推动其他半导体生产所需关键材料的国产化工作。