台积电表示A16工艺不需要High-NA EUV参与，A14工艺研发进展顺利

近日台积电（TSMC）举办了2024年北美技术论坛，揭示了其最新的制程技术、先进封装技术、以及三维立体电路（3D IC）技术，以驱动下一代人工智能（AI）的创新。其中台积电首次公布了A16制程工艺，将结合纳米片晶体管和背面供电解决方案，以提升逻辑密度和能效，预计2026年量产。

据相关媒体报道，台积电向参与会议的人士透露，A16制程工艺不需要下一代High-NA EUV光刻系统参与。这意味着台积电已经找到了在现有EUV光刻系统重经济高效地使用双重曝光等方法，将临界尺寸提高到13nm以上。不过台积电并没有停止探索在未来制程工艺中使用High-NA EUV光刻技术的步伐，紧随A16之后的A14制程工艺就会引入新的光刻技术。

台积电在此前的报告中表示，目前开发中的A14制程工艺旨在进一步改善频率、功率、密度和成本的表现，项目进展良好。台积电将继续探索High-NA EUV光刻技术的使用，对薄膜掩膜板等进行研究，以支持前沿技术并扩展摩尔定律。

使用High-NA EUV光刻系统将大大增加晶圆厂的成本，根据配置的不同，设备的价格约在3.85亿美元起步。芯片制造商更倾向于重复利用现有的工具，所以台积电也尽可能地避免使用High-NA EUV光刻系统，除非原有的EUV光刻系统无法继续改进生产能力。与此同时，台积电也在相关光刻材料上下功夫，以提高光刻工艺和良品率。

台积电这次公布A16制程工艺多少有点让人感到意外，随着人工智能行业加速发展、需求攀升，台积电似乎加快了制程技术的开发。