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    光刻机是集成电路制造过程中的核心设备,也是提升先进工艺的拦路虎,中国半导体工艺提升不上去跟光刻机被禁售也有一定关系。在光刻机领域,特别是即将到来的EUV光刻机市场上,荷兰ASML公司现在成了唯一的选择,尽管一套EUV光刻机售价超过1亿欧元,但是Intel、三星、TSMC公司依然大把砸钱升级EUV光刻机。曾几何时,日本公司在光刻机领域也是称霸一方的,光学实力强劲的尼康、佳能也是光刻机市场巨头,不过现在日系公司在光刻机辉煌不再。意外的是,今天尼康公司宣布在全球起诉ASML及合作伙伴卡尔蔡司侵犯了尼康的专利权


    ASML的EUV光刻机在新一代半导体市场上炙手可热

    在光刻机领域,大家现在只知道荷兰ASML公司,EUV光刻机更是要看ASML的进展,但在90年代日本的尼康、佳能公司因为光学实力雄厚,在半导体制造装备领域开拓的也早,当年比ASML公司还要辉煌,Intel之前的半导体工厂就大量使用了尼康的Ar-F immersion光刻机,但是现在包括Intel、TSMC、三星及GF在内的主要半导体公司都转向了ASML的光刻机,前三家公司之前还大笔投资了ASML公司,以推动ASML公司的EUV光刻机研发,同时他们也是ASML EUV光刻机最主要的用户。

    后两家去年宣布达成战略合作,ASML斥资20亿美元入股卡尔蔡司SMT公司,双方将合作研发数值孔径在0.5以上的EUV光刻机,可以进一步将目前0.33孔径光刻机的印刷尺寸从13nm减少到5nm,这些技术意义重大,不过难度也很高,预计到2024年才能有产品问世。

    尼康在光刻机市场沉沦了这么久,今天忽然宣布起诉荷兰ASML及其合作伙伴卡尔蔡司SMT公司。尼康指出ASML去年76.3%的营收——大约是35亿欧元,都来自沉浸式光刻设备,尼康公司认为这些设备使用了他们的专利技术。尼康将寻求禁令停止侵权设备销售,并要求ASML及卡尔蔡司SMT赔偿他们的损失。

    根据尼康所述,2001年他们就在美国起诉ASML公司侵犯了他们的沉浸式光刻技术专利权,2004年双方签署了交叉授权,旧的专利授权是永久性的,部分专利授权到2009年12月31日。

    双方同时声明在2010年1月1日到2014年12月31日期间互不起诉双方的专利侵权。

    对于尼康公司突然发起专利诉讼,ASML公司随后也作出公开回应,他们指出尼康的指控是毫无根据也毫无必要。过去的几年中,ASML一直希望跟尼康公司就专利授权延长展开谈判,但是尼康公司并未作出回应,现在选择采取法律行动,ASML对此感到失望。

    不过ASML依然希望跟尼康公司达成和解,认为双方应该在市场上而非法庭上展开竞争。

    PS:话说回来,尼康要是能在市场上竞争过ASML公司何必选择专利战?一旦到了打专利战的地步,说明双方已经无法正面竞争了,毕竟现在的光刻机市场几乎被ASML独占了,尼康的市场份额在新工艺中可以忽略不计了。

    光刻机对大多数人来说显得太高端,有兴趣了解半导体制造工艺的读者可以加小超哥(ID:9501417)微信,可以具体咨询处理器制造过程中的每个步骤。


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    已有 13 条评论,共 87 人参与。
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    • 游客  2019-01-26 06:48

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      14#

    • 游客  2017-05-26 16:13

      游客

      该评论年代久远,荒废失修,暂不可见。
      2017-04-26 08:11
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      13#

    • 游客  2017-05-26 16:10

      游客

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      2017-04-26 08:11
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      12#

    • 游客  2017-04-26 11:10

      游客

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      2017-04-26 08:11
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    • 游客  2017-04-26 08:11

      超能网友 博士

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      2017-04-25 13:57
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    • 游客  2017-04-26 00:15

      游客

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    • 我匿名了  2017-04-25 23:43

      游客

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      2017-04-25 14:18 已有4次举报
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      8#

    • 游客  2017-04-25 18:12

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    • 游客  2017-04-25 18:07

      超能网友 博士

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      2017-04-25 13:57
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    • 游客  2017-04-25 17:32

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      4#

    • 游客  2017-04-25 14:18

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      3#

    • 超能网友博士 2017-04-25 13:57    |  加入黑名单

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      2#

    • 超能网友教授 2017-04-25 13:53    |  加入黑名单

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