英特尔Fab 34晶圆厂完成EUV设备安装调试：即将量产Intel 4工艺

英特尔宣布，其位于爱尔兰的Fab 34晶圆厂完成了EUV（极紫外）光刻机的安装调试工作，已经正常开机，即将量产Intel 4工艺。

英特尔将于明天（9月29日）在现场举行活动，庆祝Intel 4工艺的量产，公司高层人员也会参与，包括首席执行官Pat Gelsinger、技术开发总经理Ann Kelleher和首席全球运营官Keyvan Esfarjani等。届时英特尔将介绍如何通过EUV技术实现制造和交付的过程，未来将引领其前沿产品，从提供人工智能（AI）的处理器到个人电脑，再到全球最大数据中心所使用的各类芯片。

去年4月份，英特尔Fab 34晶圆厂完成了第一台EUV光刻机的安装，这是欧洲首个具备EUV工艺的晶圆厂。大约有100多名ASML工程师到了Fab 34晶圆厂协助安装，同时英特尔从美国派来了工程师，负责培训Fab 34晶圆厂的员工如何使用EUV光刻机。此前英特尔向ASML订购了多台EUV光刻机，第一台就是安装在Fab 34晶圆厂，英特尔称之为“Intel 4工艺技术的关键推动者”。

Fab 34晶圆厂于2019年开始动工，计划2023年正式投产。英特尔曾表示，爱尔兰晶圆厂是其全球晶圆厂扩建计划的一部分，为了满足全球迅速增长的芯片需求，同时也为英特尔的Intel 4工艺量产铺路，未来将用于生产Meteor Lake和Granite Rapids等芯片。