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    近日,上海市发改委公布2021年上海市重大建设项目清单,涵盖了上海未来社会发展和与全球产业接轨所必需的几个产业,共166个项目,其中包括中芯国际(SMIC)在内的7家相关的半导体企业也入选了。

    项目清单显示,在建的项目除了中芯国际的12英寸芯片SN1项目,还有华力微电子的12英寸先进生产线、积塔半导体特色工艺生产线、超硅半导体300mm集成电路硅片全自动智能化生产线、精测半导体全球研发总部和装备制造基地等项目。另外还有新开工的项目,包括格科半导体12英寸CIS集成电路研发与产业化项目、鼎泰半导体12英寸自动化晶圆制造中心项目、新昇半导体300mm集成电路硅片研发与先进制造新建项目、上海天岳碳化硅半导体材料项目以及上海临港化合物半导体4英寸、6英寸量产线等项目。

    Wccftech报道,中芯国际的SN1晶圆厂位于浦东,将建立300mm晶圆生产线,重点发展14nm以下的先进工艺技术节点,投资120亿美元。建成后,每月产能为3.5万片。目前中芯国际正在推进7nm工艺,由于暂时无法获得EUV光刻机,使得下一步发展受阻。华力微电子也计划建立12英寸晶圆生产线,用于生产更先进的集成电路。其华虹5号厂是国内第一条全自动芯片生产线,涵盖了55nm、40nm和28nm工艺节点,每月可以生产35000片晶圆。目前还计划在浦东康桥镇附件建设另一家晶圆厂,目标每月生产4万片12英寸晶圆,覆盖28nm到14nm工艺节点。

    除了芯片制造,上下游产业目前国内形成,正处于蓬勃发展时期。在这条供应链中,设备制造企业或许是最重要的,上海微电子等是装备制造产业链的一部分,也在为早日摆脱限制而努力向前。

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