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    我们都知道半导体工艺越先进越好,用以衡量工艺进步的就是线宽,常说的xxnm工艺就代表这个,这个数字越小就代表晶体管越小,晶体管密度就越大。现在半导体公司已经进军10nm工艺,但面临的物理限制越来越高,半导体工艺提升需要全新的设备。EUV极紫外光刻机就是制程突破10nm及之后的7nm、5nm工艺的关键,现在ASML公司的EUV光刻机正在不断提高产能和可靠性,但距离量产还有一段距离。

    EUV要想获得突破,需要不断提升光源强度和可靠性。来自EE Times的报道称,荷兰ASML及TSMC台积电在上周宣布他们的原型机上测试了85Wph(每小时晶圆数),之后很快会提升到125Wph。ASML之前演示过185Wph产能的EUV光刻机,并许诺年底前会进一步提高到250Wph。

    现在的EUV光刻机可靠性已经提高到了有70%的工作时间,每天可以处理500-600个晶圆,相比去年的情况已经有很大改善,但这远远不够量产水平。ASML公司EUV项目总监Frits van Hout表示现在距离EUV应该达到的水平还有2-3步。现在出货的EUV光刻机会升级,预计今年底达到应有的水平。

    芯片制造商预计会在2018年使用EUV工艺生产芯片,届时ASML的EUV光刻机有助于降低7nm工艺的成本。

    虽然EUV工艺确实实现了预定目标,但由于产能和可靠性的问题,该项目已经多次延期,到了5nm及3nm节点,EUV可能还需要一次升级。ASML正为此与相关方讨论具体的配置和时间细节。

    值得一提的是,目前在EUV工艺上,TSMC比Intel要积极得多,此前TSMC就表示会在10nm工艺上使用EUV工艺,而Intel表示过就算没有EUV工艺,他们也懂得如何制造芯片。不过如果EUV工艺真的能如期量产,Intel也会在7nm节点上启用EUV工艺。


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    • 游客 2017-03-22 09:41

      国产光刻机还在90nm这儿,核高基专项才整出65nm,怎么活

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      9#

    • 游客 2016-04-19 09:12

      游客

      龟原子已经到极限了,必须要鳖原子了
      2016-01-25 10:12 已有1次举报
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    • 王-八原子和甲鱼原子

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      8#

    • 游客 2016-01-25 22:54

      游客

      我记得有一种说法是,5nm工艺已经到了龟原子的极限了,要想3.5nm必须换材料了。
      2016-01-25 09:51 已有1次举报
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    • 据说钻石是非常好的芯片材料,可惜原料太贵

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      7#

    • 游客 2016-01-25 20:44

      这图看着就像英特尔

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      6#

    • 游客 2016-01-25 10:57

      EUV即紫外光刻 -> EUV极紫外光刻

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      5#

    • 既视感先生博士 2016-01-25 10:27  加入黑名单

      游客

      龟原子已经到极限了,必须要鳖原子了
      2016-01-25 10:12 已有1次举报
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    • 鬼原子,鳖原子?下面怎么整?

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      4#

    • 游客 2016-01-25 10:12

      游客

      我记得有一种说法是,5nm工艺已经到了龟原子的极限了,要想3.5nm必须换材料了。
      2016-01-25 09:51 已有1次举报
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    • 龟原子已经到极限了,必须要鳖原子了

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      3#

    • 游客 2016-01-25 09:53

      荷兰ASML这个才是大牛哇

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      2#

    • 游客 2016-01-25 09:51

      我记得有一种说法是,5nm工艺已经到了龟原子的极限了,要想3.5nm必须换材料了。

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      1#

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