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    荷兰公司ASML(阿斯麦)是全球最大的光刻机制造商,而光刻机是制造芯片的关键设备。ASML在45nm以下工艺制程的光刻机市场占据了85%的份额,在EUV(极紫外光刻技术)光刻机领域则处于绝对垄断地位,市场占有率100%,是推进5nm/7nm制程节点的关键。

    在2022年1月3日,ASML位于德国柏林的工厂内发生火灾,大火在夜间被扑灭,其中部分设施受损。幸运的是,在这次事件中没有人员伤亡。ASML在火灾后表示,会花几天的时间进行调查,并会做全面的评估。该工厂原属于光学模组公司Berliner Glas,在2020年被ASML收购,负责为ASML的光刻系统制造组件,包括晶圆台和夹具、光罩卡盘和反射镜块。

    近日,ASML对德国柏林工厂的情况进行了初步评估,且更新了相关信息。火灾发生在工厂其中一栋生产大楼内,烟雾影响了临近的大楼,目前在部分区域已恢复了生产。厂区内其他建筑物没有受到影响,仍然可以正常使用。ASML还介绍了对光刻机生产的影响,包括DUV(深紫外线光科技术)和EUV系统。

    目前DUV光刻机的相关组件已重新启动生产,尽管供应上出现暂时的中断,但ASML希望可以尽最大的努力补救,以免影响DUV光刻机的生产和营收。至于EUV光刻机,火灾影响了EUV系统中一个模块晶圆夹具的部分生产区域,正按计划恢复中,并确认如何将EUV客户的影响降到最低,包括供应计划和相关服务等。

    ASML表示,2022年1月19日会公布2021年第四季度和全年业绩,以及对2022年的初步展望,届时会进一步提供柏林工厂火灾事件的信息。

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    已有 7 条评论,共 91 人参与。
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    • 传说中的的小白教授 2022-01-10 22:41    |  加入黑名单

      闪存好久没火灾了,是因为国产闪存出来抢占市场的原因了么?

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      7#

    • lyahehehehe教授 2022-01-10 21:41    |  加入黑名单

      韩国企业:MD剽窃我的创意

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      6#

    • 晕陀陀一代宗师 2022-01-10 20:11    |  加入黑名单

      漫仔 教授

      以前还有张实景照片,现在弄一张建模图就说火灾了
      2022-01-10 15:05 已有2次举报
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    • 火灾的图其实是有的,但是也只有一张,不过是不是真的有这件事那就不清楚了

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      5#

    • ChinaBlue博士 2022-01-10 15:57    |  加入黑名单

      漫仔 教授

      以前还有张实景照片,现在弄一张建模图就说火灾了
      2022-01-10 15:05 已有2次举报
    • 支持(15)  |   反对(1)  |   举报  |   回复
    • 官方:不管你信不信,我信了!

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      4#

    • 企业级理解大学生 2022-01-10 15:55    |  加入黑名单

      经典火灾,我国还要多少年才能有自己的光刻机呢

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      3#

    • lpiori2教授 2022-01-10 15:46    |  加入黑名单

      常规操作么…………这么重要的设备,说火灾就火灾了…………

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      2#

    • 漫仔教授 2022-01-10 15:05    |  加入黑名单

      以前还有张实景照片,现在弄一张建模图就说火灾了

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      1#

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