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    半导体业界等待EUV光刻设备已经很多年了,荷兰ASML公司正在出货量产型EUV设备,预计在2016年的10nm节点上正式启动EUV工艺。但跟传闻中Intel抢先使用EUV工艺不同,TSMC台积电反倒是部署EUV工艺最积极的一个,他们将在2016年底的10nm节点上启动EUV工艺。

    在日前举办的投资者会议上,ASML公司公布了EUV设备的最新进展及未来预期。他们提到,TSMC公司已经购买了两台量产型NXE:3300B光刻设备,2015年交付,而之前已交付的两台设备则会升级到最新型的NEX:3350B级别。

    按照规划,TSMC将在2016年底的10nm工艺节点上正式启用EUV工艺。

    此前传闻最早启用EUV工艺的公司是Intel,毕竟他们技术实力最强,而且是ASML的大股东之一。但是Intel对EUV工艺似乎等烦了,也可能是他们技术实力太强了,反正他们此前表态就算没有EUV工艺,他们也懂得如何制造10nm以上的晶体管,所以Intel在10nm节点并不会使用EUV工艺,他们预计在2018年的7nm工艺上才会应用EUV工艺。

    目前ASML公司的EUV光刻设备是NXE:3300B,源功率已经提升到80W,每天产能为500片晶圆,下一步预计会提到125W源功率,产能提升到1000片晶圆/天,2016年正式量产型则会提升源功率到250W,产能提升到1500片晶圆/天。

    对于未来的预计,ASML认为逻辑电路会最早使用EUV工艺,2016年的10nm节点上就会量产了,NAND闪存预计会在2019开始启用EUV工艺,DRAM及MPU产品则会在2018年进入EUV时代,而EUV工艺则有助于厂商缩小芯片面积,简化工艺。

    如果一切顺利,ASML预计2020年前会出货50-60台EUV设备,营收达到120亿美元。

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    • 游客 2014-12-01 04:33

      游客:
      游客:
      其实吧 只要国人也买这个光刻机回来 只是买得到 使用操作的人员是搞不到的 特别是熟练的 所以美帝进行了技术封锁了 没办法 还有就是CPU的架构设计能力不行 所以买回来也木有用
      买个Jb,技术封锁你不知道?要不是中芯国际现在国内晶圆厂还特么用着90nm的光刻机呢
      偷不到就恼羞成怒啦,所有者的东西不让你偷,它女马的小偷就责怪所有者【封锁】,真它女马和曹县一个逻辑

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      7#

    • 游客 2014-11-27 17:04

      游客:
      其实吧 只要国人也买这个光刻机回来 只是买得到 使用操作的人员是搞不到的 特别是熟练的 所以美帝进行了技术封锁了 没办法 还有就是CPU的架构设计能力不行 所以买回来也木有用
      买个Jb,技术封锁你不知道?要不是中芯国际现在国内晶圆厂还特么用着90nm的光刻机呢

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      6#

    • 游客 2014-11-26 14:44

      其实吧 只要国人也买这个光刻机回来 只是买得到 使用操作的人员是搞不到的 特别是熟练的 所以美帝进行了技术封锁了 没办法 还有就是CPU的架构设计能力不行 所以买回来也木有用

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      5#

    • 游客 2014-11-25 13:59

      什么玩意儿,一台两亿多

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      3#

    • overclock_overc高中生 2014-11-25 11:52  加入黑名单

      极紫外光刻技术 光瓦数越大 产能越高 但是intel有自己的三重曝光技术 intel无压力 压力在于TSMC tsmc能否将EUV产线良率提上才是抢占iphone订单的根本 by the way:还有我大三星呢!我大SAMSUNG Fab!

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      2#

    • 游客 2014-11-25 11:20

      INTEL为什么你这么屌~

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      1#

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