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    三星官方发布公告,德国当地时间26日,三星电子李在镕近期访问了位于巴登符堡州奥伯科亨市的蔡司总部,并与蔡司首席执行官Karl Lamprecht等高管就加强双方的合作进行了讨论。双方同意进一步扩大在EUV技术和先进半导体设备方面的合作,以加强晶圆代工和存储器业务的竞争力。


    图:李在镕(中)、兰普雷希特(左)与蔡司半导体制造技术部门CEO安德烈亚斯・佩歇尔(右)在蔡司总部外合影留念

    作为一家全球性的光学公司,蔡司在极紫外(EUV)技术方面拥有2000多项关键专利,对于先进半导体的生产至关重要。蔡司是ASML(阿斯麦)的EUV设备光学系统的独家供应商,一台EUV光刻机包含了30000多个蔡司组件。

    李在镕与蔡司的管理层讨论了双方的主要半导体技术趋势和中长期技术路线图,随后还参观了蔡司的工厂,了解了最新半导体元件和设备的生产情况。陪同李在镕访问的还有三星负责半导体生产技术的高管,包括三星电子DS部门首席技术官宋在赫和DS部门制造与技术总裁南锡宇等。三星电子希望通过与蔡司的技术合作,实现下一代半导体的性能提升、生产工艺优化和良率提升,从而提高其业务竞争力。

    三星电子计划今年内,通过应用EUV工艺量产第6代10nm级DRAM,并深耕基于EUV技术的3nm以下制程的晶圆代工市场。蔡司也计划到2026年,投资480亿韩元(约合人民币2.52亿元)在韩国建设研发中心,届时双方的战略合作有望进一步加强。

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